國機集團所屬沈陽儀表院承擔的沈陽市高新技術產業(yè)發(fā)展計劃項目“高性能硅電容壓力傳感器”近日順利通過驗收。

該項目采用先進的微電子和微機械加工相結合的工藝技術，在硅電容傳感器設計、制造工藝技術、傳感器封裝結構等方面具有創(chuàng)新性，解決了硅電容傳感器研制的工藝技術難題，開發(fā)研制出完全擁有自主知識產權的新型高性能硅電容差壓傳感器產品，產品精度優(yōu)于0.075%FS，技術水平達到國內領先、國際一流。（宗瑞）